射頻濺射電源RF500E
所屬分類：
濺射電源
關(guān)鍵詞： 射頻濺射電源RF500E
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品特點(diǎn)：
SI-RF500D 型系列射頻電源，是采用全晶體管高效率 E 類射頻功率放大器，ARM 單片機(jī)做整機(jī)控制,帶觸屏的液晶顯示器作為人機(jī)交互部件的新型射頻電源。微電腦控制技術(shù)的應(yīng)用使系統(tǒng)的保護(hù)更加完善，輸出功率更加穩(wěn)定。全新設(shè)計(jì)的散熱系統(tǒng)，使得大功率晶體管的工作溫度大大降低、工作壽命更長(zhǎng)更穩(wěn)定，并可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作。由于采用了觸屏和 TFT 彩色液晶顯示器，再輔以適當(dāng)?shù)能浖钥刂聘`活，人機(jī)交互界面更友好，使用更方便。
匹配器具有自動(dòng)匹配和跟蹤功能。如果真空室是容性負(fù)載，匹配器可以自動(dòng)檢測(cè)負(fù)載的負(fù)偏壓，在啟動(dòng)自動(dòng)調(diào)諧后及手動(dòng)調(diào)諧期間匹配器會(huì)自動(dòng)產(chǎn)生一個(gè)-2000V 左右的的點(diǎn)火電壓，使得在較高真空度情況下的匹配更容易。
本電源可以廣泛的用于磁控濺射鍍膜、等離子發(fā)生器、濺射、 PECVD、等離子刻蝕等方面應(yīng)用。
● 射頻恒功率輸出。 控制精度可高達(dá) 0.5%+1字；
● 一鍵式自動(dòng)調(diào)諧匹配及自動(dòng)跟蹤匹配。
● 高壓點(diǎn)火輔助。 匹配器可以根據(jù)需要自動(dòng)產(chǎn)生-1000V 左右的點(diǎn)火電壓使匹配更容易。
● 液晶顯示器。 數(shù)據(jù)顯示采用帶觸摸屏的，顯示控制直觀方便精度高。
● 多種多重智能保護(hù)及故障檢測(cè)功能，運(yùn)行可靠性高；維護(hù)方便。
● RS232 及 RS485 通訊接口,可實(shí)現(xiàn)全功能遙控與遙測(cè)（選裝）；
● 全新的散熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)， 本電源在不堵塞散熱孔的前提下可連續(xù)工作。
● 體積小重量輕。最大外形尺寸 483 x 89 x 350全機(jī)僅 7.2kg；
● 本機(jī)具有模擬功率遙控接口，可與控制器組成閉環(huán)控制系統(tǒng)。并使系統(tǒng)能在射頻泄露較嚴(yán)重，電磁干擾較強(qiáng)的環(huán)境中穩(wěn)定的工作。
技術(shù)指標(biāo)
供電電源要求： AC220V（±10%） / 50Hz /10A；
運(yùn)行模式： 恒功率控制；
輸出頻率： 13.56MHz（±0.1%）；
輸出阻抗： 50歐姆；
最大允許輸出功率： 500W。
負(fù)載匹配調(diào)諧方式： 手動(dòng)調(diào)諧/自動(dòng)跟蹤調(diào)諧 ①
調(diào)諧電容顯示方式： 主機(jī)數(shù)字顯示電容位置
功率控制精度： 1%+1W、 0.5% +1W ①
顯示器： 觸摸屏+4.3' TFT彩色液晶顯示器；
計(jì)算機(jī)接口： RS-232/485串行接口/Modbus協(xié)議①
模擬控制接口： 0－5V的模擬量輸入；開(kāi)關(guān)量控制
最大外形尺寸：主機(jī) 483 x 89 x 350mm ( 寬 x 高 x 深 )
匹配器 300x260x130mm( 不含固定腳 )
重量： 主機(jī) 7.2kg 匹配器 2.3kg
使用溫度： 0-40℃ (電源/顯示器)
濕度范圍： 5%-85%RH.， 不結(jié)露
①： 帶此標(biāo)注項(xiàng)目為選配項(xiàng)
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