TM106E膜厚監測儀
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關鍵詞： TM106E膜厚監測儀
產品描述
產品簡介
TM-106E 超小型膜厚監測儀，采用石英晶體振蕩原理進行膜厚的在線監測，采用先進的頻率測量技術（本公司自有知識產權技術），為廣大用戶研制的一款經濟型在線膜厚監測儀器。此儀器具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點，主要用于MBE、OLED 熱蒸發、磁控濺射等設備制備薄膜過程中膜層厚度及鍍膜速率的監測，根據實時速率可以輸出 PWM 模擬量，可做為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
本監測儀可與計算機連接，運行本機提供的計算機軟件進行顯示操作，或與本公司開發設計的 TM108 顯示儀配套使用，具有界面簡單、直觀、合理、操作方便快捷等優點?？芍庇^顯示監測儀所測得的膜厚、速率、頻率等，通過軟件或顯示儀可對監測儀的門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數及通訊參數等相關參數進行設置。并可將所測得的相關數據寫入 Excel 文件。
技術指標
電源要求：DC5V（±10%） 最大電流 400 mA
高分辨率：±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測量(鋁)
最高精度：±0.5%厚度+1計數
測量速度：100 mS/次
測量范圍：500,000 ? (鋁)
標準傳感器晶體：6 MHz.
顯示器：連接計算機通過軟件顯示或連接顯示儀
計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8 停止位：1 校驗：無）
通訊協議：Modbus-ASCII（默認）/ Modbus-RTU（通訊修改）
最大外形尺寸：90 x 50 x 18mm （長 x 寬 x 高）
使用溫度范圍：0-50℃室溫
濕度范圍：5%-85%RH.，不得有冷凝水珠
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